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ALCATEL分子泵的安裝環(huán)境你了解幾個因素
ALCATEL分子泵的安裝環(huán)境你了解幾個因素
更新時間：2020-08-24 點(diǎn)擊次數(shù)：1804
ALCATEL分子泵
是一種非常常見的獲得高真空和超高真空的設(shè)備，廣泛應(yīng)用于IC生產(chǎn)制造的各個工藝。分子泵的抽氣機(jī)理與機(jī)械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機(jī)理不同，利用了動量傳遞原理，使分子定向流動而被排出泵外，從而達(dá)到抽氣的目的。在分子流區(qū)域內(nèi)，氣體分子與高速轉(zhuǎn)到的葉片表面碰撞，動量傳遞給氣體分子，使部分氣體分子在剛體表面的運(yùn)動方向上，產(chǎn)生定向流動而被排出泵外，從而達(dá)到抽氣的目的。正確的使用和及時的保養(yǎng)，對分子泵軸承乃至整個分子泵的正常工作意義重大。確認(rèn)安裝環(huán)境必須滿足如下條件：
1) 泵體表面徑向和軸向磁場強(qiáng)度均不得大于3mT(30Gs)；
2) 環(huán)境放射性強(qiáng)度<105rad；
3) 環(huán)境溫度為5~40℃；
4) 空氣相對濕度：≤85%；
5) 電壓：220±22V，頻率：50±1Hz；
6) 海拔：≤3000米。
安裝前應(yīng)檢查分子泵運(yùn)輸中是否被損壞：打開泵高真空端法蘭蓋板，戴好手套，撥動渦輪轉(zhuǎn)子，應(yīng)轉(zhuǎn)動靈活，無異常現(xiàn)象。若存在異常現(xiàn)象，應(yīng)及時通知我公司，不得自行處理，否則由此帶來損失我公司概不負(fù)責(zé)。
不允許將分子泵長期置于大氣狀態(tài)下存放，在打開進(jìn)氣口和排氣口盲板時，應(yīng)注意真空衛(wèi)生要求，嚴(yán)禁雜物、灰塵等落入泵內(nèi)。安裝環(huán)境應(yīng)符合技術(shù)要求和真空衛(wèi)生要求。
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